温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

选择一种或多种涂层前体（３０）。汽化室具有将液体涂层前体连续注入室中以产生蒸汽（４２）的结构。无密封的磁驱动部分（２４）使得用于将所述液体涂层前体分布在所述室中的结构旋转。在一个实施方案中，在邻近汽化室的位置处注入隔离气体（１０２），其速度...
该专利属于皮尔金顿北美公司所有，仅供学习研究参考，未经过皮尔金顿北美公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。