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一种单晶硅片表面制备磺酸基硅烷－稀土纳米复合薄膜的方法，将单晶硅片作为基底材料，在其表面采用自组装方法制备磺酸基硅烷－稀土纳米薄膜，首先将单晶硅片浸泡在王水中加热５～６小时，在室温中冷却、冲洗干燥后浸入配制好的巯基硅烷溶液中，静置６～８小时...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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