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本发明涉及高熔点金属（难熔金属及贵金属）化学气相沉积制备所用的专用设备。设备由３部分组成：（一）主体结构；（二）动力传动装置；（三）气体调配系统。主体部分结构由５个功能部件组成，分别为：沉积室（Ⅰ），密封室（Ⅱ），蜗轮箱（Ⅲ），升降操纵箱（...
该专利属于贵研铂业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过贵研铂业股份有限公司授权不得商用。

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