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全硅棒滚磨设备制造技术
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文档序号:18059327
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本申请公开的一种全硅棒滚磨设备,该全硅棒滚磨设备包括:机座,承载装置,线切割装置,夹紧滚动装置以及滚动研磨装置,其中,滚动研磨装置用于与夹紧滚动装置配合以对夹紧滚动装置夹紧的全硅棒的圆周面进行研磨。实现在同一台设备上完成对全硅棒的上料、滚磨...
该专利属于上海日进机床有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海日进机床有限公司授权不得商用。
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