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本发明属于复合材料制造技术，涉及一种化学气相沉积装置的改进。它包括惰性气体管路１、进气管１２、可编程控制器６，其特征在于，有一个封闭的加热装置８，混合罐１０安装在加热装置８的内腔中；有一个由载气管路５、气体质量流量控制器３、固态蒸发器９、压...该专利属于中国航空工业第一集团公司北京航空制造工程研究所;锦州市三特真空冶金技术工业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国航空工业第一集团公司北京航空制造工程研究所;锦州市三特真空冶金技术工业有限公司授权不得商用。