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公开了用于溅射含钛铝材料的吸收涂层的钛铝阴极靶材，溅射气氛中包含惰性气体、反应性气体如氮气、氧气和它们的混合物，该混合物中还可以含有惰性气体如氩气，以形成氮化物、氧化物和氮氧化物以及金属薄膜。含钛铝涂层可以用来作为涂层叠层的一个外覆层或者作...
该专利属于ＰＰＧ工业俄亥俄公司所有，仅供学习研究参考，未经过ＰＰＧ工业俄亥俄公司授权不得商用。

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