下载在主动区上方具有气隙间隔件与栅极接触的基于晶体管的半导体装置的技术资料

文档序号:18052479

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本发明涉及在主动区上方具有气隙间隔件与栅极接触的基于晶体管的半导体装置,其中,一种半导体结构包括半导体衬底、在该半导体衬底上的半导体鳍片、与该半导体鳍片整合在其顶部的晶体管,该晶体管包括主动区,该主动区包括源极、漏极以及在源极、漏极之间的沟...
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