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一种鳍式场效应晶体管及其形成方法，形成方法包括：提供基底；刻蚀所述基底，形成衬底以及位于衬底上的多个鳍部，所述鳍部之间具有宽度不同的第一间隔和第二间隔，所述第一间隔大于所述第二间隔；在鳍部露出的衬底上形成第一隔离层，第一隔离层在第一间隔处形...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。