下载一种用于具有极性的异形晶片的极性面判定方法的技术资料

文档序号:18052227

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本发明公开了一种用于具有极性的异形晶片的极性面判定方法。将若干晶片垂直摆放在承载装置上,放置在容器内腐蚀,腐蚀后观察晶片被腐蚀区域的形貌进行极性面判定,最后进行定位边切割,以定位边的切割位置作为判定极性面的标识;定位边切割采用去除尖角的方式...
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