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一种鳍式场效应晶体管及其形成方法，所述形成方法包括：提供衬底，所述衬底上具有多个分立的鳍部；形成横跨所述鳍部的伪栅结构，所述伪栅结构覆盖鳍部部分顶部和侧壁表面；对位于所述伪栅结构下方的鳍部进行离子注入；在所述离子注入之后，去除所述伪栅结构；...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。