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熔融基底表面制备功能薄膜的方法技术
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文档序号:1805129
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一种熔融基底表面功能薄膜的制备方法,其特征是采用在室温下为固相的低熔点低蒸汽压材料为薄膜基底。沉积薄膜之前,升高基底温度,将其熔融而成为液相基底;然后采用磁控溅射或热蒸发等方法,将薄膜材料原子蒸发并沉积到液相基底表面,通过扩散、成核、旋转、...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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