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具有热控制系统的喷镀装置制造方法及图纸
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下载具有热控制系统的喷镀装置的技术资料
文档序号:1805027
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一种用于在热学控制条件下将材料喷镀到基质上的设备,包括限定出内部并具有开口的外壳以及具有孔口并能将材料喷镀到基质上的喷镀装置。该喷镀装置位于该内部内,而该开口使该孔口与该外壳外面的环境相连通。该设备还包括热控制单元,该热控制单元以可操作的方...
该专利属于诺信公司所有,仅供学习研究参考,未经过诺信公司授权不得商用。
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