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本发明涉及曝光装置、曝光方法和物品的制造方法。本发明提供曝光基板的曝光装置，所述曝光装置包括：被配置为在多个测量点中的每一个处测量基板的高度的测量单元；和被配置为基于通过测量单元获得的测量结果控制基板的高度并且控制将基板的被照区域布置在第一...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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