下载一种基于CCD的摆镜线性度测试装置的技术资料

文档序号:18048074

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本实用新型涉及一种基于CCD的摆镜线性度测试装置,包括摆镜、电机、光电编码器激光器、CCD、PC机;摆镜与电机的输出轴一端连接,电机的输出轴另一端连接光电编码器;激光器的激光入射方向与摆镜转轴垂直,摆镜的反射光线与CCD的光敏元线列平行,C...
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