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靶组合体以及具有该靶组合体的溅射装置制造方法及图纸
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下载靶组合体以及具有该靶组合体的溅射装置的技术资料
文档序号:1804292
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本发明提供一种靶组合体,在利用通过接合材料接合靶和背板而构成的靶组合体进行溅射时,靶和背板的接合面也不会暴露于等离子体中,进而,可以防止诱发溅射时的异常放电。在本发明的靶组合体中,把具有规定形状的溅射用靶31a~31f与背板32a~32f的...
该专利属于株式会社爱发科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社爱发科授权不得商用。
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