下载一种铸造多晶硅免喷坩埚氮化硅涂层及其制备方法的技术资料

文档序号:18042393

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本发明公开一种铸造多晶硅免喷坩埚氮化硅涂层及其制备方法,该氮化硅涂层包括两种粒径的氮化硅和粘结剂。采用两种粒径的氮化硅混合,颗粒粗细搭配,细颗粒可以填充到粗颗粒之间的孔隙,增强氮化硅涂层的致密度和强度。此外,本发明采用了高粘度,低氧含量的粘...
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