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加热器和具有该加热器的汽相沉积源制造技术
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下载加热器和具有该加热器的汽相沉积源的技术资料
文档序号:1804230
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本发明公开一种加热器和一种具有该加热器的汽相沉积源,通过确保熔化罐的温度均匀性,能够在板上镀均匀厚度的材料。该加热器设置在一个沉积装置的熔化罐的上侧或下侧至少之一上,用于加热所述熔化罐。该加热器包括复数个有不均匀的节距的弯曲。该加热器中心部...
该专利属于三星SDI株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星SDI株式会社授权不得商用。
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