下载用于固体化学制品持续蒸汽发送的起泡器的技术资料

文档序号:1803995

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本发明涉及用于固体化学制品持续蒸汽发送的起泡器。一种起泡室组件,包括一个室或两个或多个串联的室,所有室都基本垂直取向。在该一个室或多个室中具有化合物的固态或液态源。所述一个室或多个串联的室沿所述载气穿过该一个室或多个室的流动方向的长度或总长...
该专利属于阿克佐诺贝尔股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过阿克佐诺贝尔股份有限公司授权不得商用。

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