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气相自组装生长硅量子环纳米结构的制备方法，首先在等离子体增强化学汽相淀积（ＰＥＣＶＤ）系统中衬底硅表面分别进行氩气（Ａｒ）等离子体和氢气（Ｈ↓［２］）等离子体的预处理，在衬底硅表面形成硅纳米环的成核中心；然后，在ＰＥＣＶＤ系统中原位周期性交...
该专利属于南京大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京大学授权不得商用。

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