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本申请提供在抽真空或开始溅射时及在溅射过程中不开裂的ＩＴＯ溅射靶。尤其是没有上述开裂的、靶短轴是长轴的０．７倍－１．０倍的单片式ＩＴＯ溅射靶或长度达宽度４倍以上的细长多段形ＩＴＯ溅射靶。本发明的溅射靶实际上是在单块衬板上接合由铟、锡和氧构成...
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