下载一种气相沉积材料生长和成型的方法及装置的技术资料

文档序号:1803740

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本发明公开了一种气相沉积材料生长和成型的方法与装置。该方法包括步骤:1)通入工作气体;2)入射一束激光到衬底表面建立离化通道;3)在置于光路上的针尖电极上加一正高压;4)确定起始生长位置,开始气相沉积过程;5)使柱状放电按设定模式扫描;6)...
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