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一种多轨道磁控管，具有一回旋形状且不对称于它所围绕旋转的标靶中心（１４）。一等离子体轨道（１６６）被形成为一介于相反的内磁极（１６２）与外磁极（１６４）之间的闭环，最好是被形成为两圈或者三圈径向分布并呈螺旋形状相对于该靶材中心的反方向延伸的...
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