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本发明涉及在真空室中借助高速电子束蒸发在至少一个物体上沉积光催化氧化钛层的方法，其中在真空室中产生含氧气氛，借助电子束蒸发主要含Ｔｉ成分的材料；所述沉积由等离子体辅助，其中等离子体借助在作为阴极接通电流的待蒸发材料表面上进行扩散电弧放电产生...
该专利属于弗劳恩霍弗实用研究促进协会所有，仅供学习研究参考，未经过弗劳恩霍弗实用研究促进协会授权不得商用。

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