下载点弧和柱弧真空镀膜方法的技术资料

文档序号:1803104

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本发明公开了一种点弧和柱弧真空镀膜方法。它包括如下步骤:1)真空离子镀膜设备抽真空;2)离子清洗;3)主弧轰击;4)镀底膜过渡层;5)镀结合膜层;6)镀化合物膜层;7)镀光亮层;8)降温。本发明采用阴极多金属多点点电弧和中心阴极旋转柱弧相结...
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