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磁控管溅射用磁体构件和阴极单元以及磁控管溅射装置制造方法及图纸
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文档序号:1803019
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一种磁控管溅射用的磁体构件,其特征在于, 具备 在所述靶的里面一侧使磁矩的方向相互错开地配置,以形成直到靶表面的第1磁力线的内部磁体以及外部磁体、 在所述内部磁体与外部磁体间的所述靶的里面一侧,使磁矩的方向相互错开地配置,...
该专利属于新明和工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过新明和工业株式会社授权不得商用。
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