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改进的PVD靶制造技术
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下载改进的PVD靶的技术资料
文档序号:1802847
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本发明公开了配置一种物理气相沉积靶组件以使靶粘接层与处理区域隔离。在一实施方式中,所述靶组件包括背板,具有第一表面和第二表面的靶,以及设置在所述背板和所述第二表面之间的粘接层。所述靶的第一表面与处理区域流体接触以及所述靶的第二表面朝所述背板...
该专利属于应用材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。
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