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可以使用配备在前端模块中的单个基板输送机械手根据处理特性而选择性地通过真空或边缘夹持方法来输送基板。另外，在处理之后，可以使用缓冲室来装载基板，以用于冷却处理和输送基板。...
该专利属于ACN有限公司;盛美半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ACN有限公司;盛美半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

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