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等离子涂敷系统，包括至少一台具有规定了至少具有一个弯曲部的路径第一侧面和第二侧面的涂敷台。该涂敷台包括用于提供被导向基板的等离子喷射流的第一等离子弧。第一等离子弧被配置于弯曲部的第一侧面或者第二侧面。...
该专利属于埃克阿泰克有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃克阿泰克有限责任公司授权不得商用。

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