下载一种基于同步运动式圆度误差分离装置及方法的技术资料

文档序号:18017515

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本发明一种基于同步运动式圆度误差分离装置及方法属于精密仪器制造及测量技术领域;该方法主要在超精密圆度测量仪中引入一个可以与超精密圆度误差测量仪回转工作台同向旋转的误差分离转台,通过三次测量含有不同系统分量的圆周信号,分离出被测件的圆度误差、...
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