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本发明公开了一种钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法。材料为基底上覆有钼基金属氮化物或钼基非金属氮化物构成的纳米复合硬质薄膜，该薄膜的晶粒尺度为５～４０ｎｍ、膜的厚度为１～５μｍ，薄膜中钼元素与置换元素间的摩尔百分比为５０～９４％∶６～５０％...该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。
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本发明公开了一种钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法。材料为基底上覆有钼基金属氮化物或钼基非金属氮化物构成的纳米复合硬质薄膜，该薄膜的晶粒尺度为５～４０ｎｍ、膜的厚度为１～５μｍ，薄膜中钼元素与置换元素间的摩尔百分比为５０～９４％∶６～５０％...