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一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法技术
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文档序号:1801165
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本发明利用晶体生长的模板诱导作用原理,提供了一种二氧化钒薄膜在玻璃衬底上的低温沉积方法。以玻璃为衬底,依次包括如下步骤:(a)玻璃衬底的清洗与预处理;(b)制备二氧化硅扩散阻隔层;(c)制备金属氧化物缓冲层;(d)制备二氧化钒热色层。本发明...
该专利属于中国科学院广州能源研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院广州能源研究所授权不得商用。
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