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本发明公开了一种ＴｉＡｌＣＮ非金属元素线性变化梯度涂层的制作方法，是采用ＰＶＤ方法进行涂层处理，该涂层处理过程被分成连续的四个时间段，是在第二个时间段内，同时向炉腔内通入氩气Ａｒ、氮气Ｎ２、乙炔气体Ｃ２Ｈ２，其中氩气Ａｒ流量保持不变，氮气Ｎ...该专利属于厦门金鹭特种合金有限公司;国家钨材料工程技术研究中心所有，仅供学习研究参考，未经过厦门金鹭特种合金有限公司;国家钨材料工程技术研究中心授权不得商用。