温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明是有关一种物理气相沉积系统，包括一沉积反应室、一磁石、一行星齿轮组、一第一驱动装置、一驱动齿轮以及一第二驱动装置。磁石设置于沉积反应室之上。行星齿轮组具有一环形齿圈、一第一齿轮、一第二齿轮及一平衡齿轮。环形齿圈围绕第一齿轮、第二齿轮及...
该专利属于茂德科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过茂德科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。