下载一种掩膜版及其制备方法、光刻方法的技术资料

文档序号:18006524

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本发明公开一种掩膜版及其制备方法、光刻方法,涉及光掩膜技术领域,以通过单个掩膜板实现两种图案的光刻,从而降低显示基板的制作成本。所述掩膜版包括透光基板,透光基板包括相对的第一表面和第二表面;第一表面和第二表面均形成有单向透光图案层,第一表面...
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