下载一种混合等离子效应辅助的槽式波导TE模检偏器的技术资料

文档序号:18006435

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本发明公开了一种混合等离子效应辅助的槽式波导TE模检偏器,该检偏器由下至上依次为硅基衬底、掩埋氧化层、检偏部件和上包层,其中掩埋氧化层生长于硅基衬底的上表面,上包层覆盖掩埋氧化层的上表面,检偏部件水平生长于掩埋氧化层的上表面,并被上包层覆盖...
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