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一种压电-电磁复合式振动能量收集器及其制备方法技术
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文档序号:17998531
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本发明提供了一种压电‑电磁复合式振动能量收集器及其制备方法,该能量收集器包括相互堆叠的衬底和背板;所述衬底经刻蚀形成悬臂梁结构,其中,所述衬底的下表面形成有凹槽、所述凹槽上方为悬臂梁结构,所述凹槽和所述背板形成腔体,所述腔体内设有永磁体;所...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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