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本发明公开了一种链式湿化学法制备可控结构多晶黑硅的方法，采用链式设备，包括以下步骤：用氢氟酸和硝酸混合液去除硅片表面的损伤层；用硝酸铜、硝酸银、双氧水、氢氟酸的混合溶液在硅片表面形成刻蚀洞；用硝酸溶液去除硅片表面银/铜离子；高浓度硝酸、氢氟...
该专利属于江苏辉伦太阳能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏辉伦太阳能科技有限公司授权不得商用。

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