下载定向水冷散热的节能型高效多晶硅铸锭炉的技术资料

文档序号:17991513

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本实用新型涉及多晶硅生产技术,旨在提供一种定向水冷散热的节能型高效多晶硅铸锭炉。该种定向水冷散热的节能型高效多晶硅铸锭炉,包括炉体、隔热笼、石墨护板、定向散热块、底保温板、隔热百叶、水冷铜板、水冷铜管、石墨支撑柱、隔热移门、石英坩埚、顶部加...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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