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本发明公开了一种基于逆压电效应的MEMS微结构三轴式片外激振装置，包括套筒、叠堆压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块和MEMS微结构；在套筒内设有支撑板及与下联接块连接的电动丝杠传动机构；下联接块上端为半球状圆头并顶在上联接块底面；压电陶瓷夹...
该专利属于渤海大学所有，仅供学习研究参考，未经过渤海大学授权不得商用。

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