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一种全场照明快照式检测反射面面形的装置及方法制造方法及图纸
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下载一种全场照明快照式检测反射面面形的装置及方法的技术资料
文档序号:17967685
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本发明公开了一种全场照明快照式检测反射面面形的装置及方法,固体激光器、第一透镜、第二透镜、空间滤波器、偏振片、半波片、偏振分光棱镜、第一反射镜、第二反射镜、四分之一波片、会聚透镜、物镜、被测反射面和同步偏振相机均设置在抗震平台上,固体激光器...
该专利属于南京信息工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京信息工程大学授权不得商用。
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