下载用于形成n-型氧化物半导体膜的涂布液、n-型氧化物半导体膜制造方法和场效应晶体管制造方法的技术资料

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用于形成n‑型氧化物半导体膜的涂布液,所述涂布液包括:A组元素,其为选自如下的至少一种:Sc、Y、Ln、B、Al、和Ga;B组元素,其为如下的至少一种:In和Tl;C组元素,其为选自如下的至少一种:第4族元素、第5族元素、第6族元素、第7族...
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