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用于转移单晶块的方法技术
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文档序号:17961292
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本发明涉及一种转移方法,该转移方法包括以下步骤:a、提供中间基板(10),该中间基板(10)在其一个表面上包括多个块(20),所述块(20)由单晶材料制成,所述块(20)包括脆化区域(50),该脆化区域(50)限定旨在用于被转移到最终基板(...
该专利属于索泰克公司所有,仅供学习研究参考,未经过索泰克公司授权不得商用。
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