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质量流量控制装置制造方法及图纸
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下载质量流量控制装置的技术资料
文档序号:17959100
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执行向流量控制阀输出控制信号来控制阀开度以使由流量计测量的气体的测量流量与设定流量一致的流量控制的控制单元以由温度计测量的气体的测量温度相比于基准温度越高则使阀开度的变更量的绝对值越大的方式调整控制信号的强度,以测量温度相比于基准温度越低则...
该专利属于日立金属株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日立金属株式会社授权不得商用。
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