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加工装置(100)包括：光源(33)；用于获得与聚焦器件(9)上游给定的位置保持平行的在空间上偏移的出射光束(7)的光学系统(2)，所述光学系统(2)包括：可移动反射镜(19)，使得其法线能够描绘三维空间中的轨迹，所述光学系统(2)配置为使...
该专利属于激光工程应用有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过激光工程应用有限公司授权不得商用。

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