下载一种镀膜机台硅片的压紧装置的技术资料

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本实用新型公开了一种镀膜机台硅片的压紧装置,包括由上至下设置的上压块和下压块,上压块包括固定块和设置于固定块底部的圆柱形凸块,固定块和下压块均为长方体形结构,固定块的长度与下压块的长度相同,且固定块的宽度大于下压块的宽度,下压块的顶部设置有...
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