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本实用新型提出了一种一体化全自动同轴微观三维形貌测量装置包括：准直滤波单元、共光路微分干涉单元、自动移相单元、全自动控制单元、图像采集单元。采用LED低相干光源、抑制了相干噪声带来的影响，提高测量精度；将垂直滤波单元封装，减小了外界环境带来...
该专利属于哈尔滨工业大学深圳研究生院所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学深圳研究生院授权不得商用。

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