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一种基于多偏振照明的光刻投影物镜高阶波像差检测方法，本方法分为快速建模和像差提取两部分，快速建模部分首先设定投影物镜的偏振像差以及数值孔径等参数，然后分别在不同偏振照明方式下采用一元线性采样方式仿真空间像，并对仿真空间像进行主成分分析和多元...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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