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本发明提供了一种六氯乙硅烷的纯化方法，包括如下步骤：将工业级六氯乙硅烷，通入装有吸附树脂的交换柱中，在温度50‑65℃，流速0.2‑2BV/h的条件下进行吸附提纯，产物即为纯化后的六氯乙硅烷产品。...
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