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本实用新型提供了一种自动清洗硅料的隔离气体装置，自工件流水线的方向包括依次设置的硅料清洗槽、超声设备与干燥设备，所述硅料清洗槽与所述超声设备之间设置有水槽，所述水槽的底部设置有传送带，所述水槽的上方设置有隔离墙，且所述隔离墙的一端延伸至所述...
该专利属于浙江昱辉阳光能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江昱辉阳光能源有限公司授权不得商用。

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