下载一种质谱用多极杆电容的测量方法的技术资料

文档序号:17910445

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本发明公开了一种质谱用多极杆电容的测量方法,包括:信号处理模块、内部时钟模块、功率放大模块、隔离变压器模块、多极杆总成、反馈控制模块;通过使用DDS连接射频的频率源,可以使射频输出的高压的频率在较大范围内变化,找出调谐电流最小的频率,然后使...
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